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LED步進式光刻機

LED步進式光刻機

產品特點 適用于4-6英寸基底LED硅芯片/藍寶石芯片生產中的光刻工藝,采用超大曝光視場,大大減少曝光次數,顯著提高產能;同時該設備具有高分辨率、高線寬均勻性等特點。?

產品應用

應用范圍:LED晶圓。

產品參數

主要參數加工尺寸4”、6“晶圓
加工速度4", 137pcs/h
6", 110pcs/h
加工精度分辨率2μm L/S
平臺參數定位精度
X: ±200nm
Y: ±200nm
Z: ±350nm
Rx Ry Rz:10urad
激光器參數光源:2000W UV Lamp,波長365nm
感光區域:53*38.5mm
工作照度:>550mW/cm2(New lamp)
光源均勻度:≤3%
Tact time4”:43.1秒(第一片),循環TT 25.6秒
6”:49.1秒(第一片),循環TT 31.6秒
稼動率>95%


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