股票代碼
002008
應用范圍:LED晶圓。
主要參數 | 加工尺寸 | 4”、6“晶圓 |
加工速度 | 4", 137pcs/h 6", 110pcs/h | |
加工精度 | 分辨率2μm L/S | |
平臺參數 | 定位精度 X: ±200nm Y: ±200nm Z: ±350nm Rx Ry Rz:10urad | |
激光器參數 | 光源:2000W UV Lamp,波長365nm 感光區域:53*38.5mm 工作照度:>550mW/cm2(New lamp) 光源均勻度:≤3% | |
Tact time | 4”:43.1秒(第一片),循環TT 25.6秒 6”:49.1秒(第一片),循環TT 31.6秒 | |
稼動率 | >95% |